• 蘇州中春凈化科技有限公司
    電話:0512-63310696
    傳真:0512-63310605
    網址:www.whjja25.top
    公司地址:蘇州市吳江區金家壩金莘公路南

    光伏新能源潔凈無塵車間凈化工程介紹

    時間:2018/8/6 10:15:00來源:http://www.whjja25.top/ 作者:中春凈化 點擊::次

        光伏新能源潔凈無塵車間凈化工程介紹

    1.1 光伏新能源硅晶片的生產工藝流程

    從大的方面來講,光伏新能源硅晶片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅晶片生產兩大部分,細分為以下幾道主要工序:

    單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質檢查-潔凈包裝

    從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產工序。下面以某日資硅片廠為例,介紹光伏新能源硅晶片生產工序的空調凈化系統和自控系統的設計方案。

    1.2 各生產工序環境控制要求

    某硅片廠生產4~6英寸光伏新能源硅晶片,產量為480萬片/年。此公司光伏新能源硅晶片應用于分立器件、功率元件和特種集成電路的制作。

    2、空調凈化系統

    空調凈化的設計是與工藝的布局、生產的流程密切結合的。不同類型、不同用途的廠房空調凈化系統都各有特點,下面來介紹光伏新能源硅晶片生產工序的空調凈化系統方案。 

    2.1 空調系統

    切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求,設風冷熱泵分體柜式空調機(PAC)來保證房間溫度要求,室內機就近放置在車間內,接風管,采用雙層百葉風口側送風方式;室外機放置在屋面上。切片室的排風量較大,新風采用直接蒸發式熱泵型屋頂空調機S1-1S1-2來補充。車間有防塵要求,風冷熱泵分體柜式空調機回風口處設中效過濾器(大氣塵計數效率:≥60%,對于≥1μ粒子),同樣屋頂式空調機需設兩級過濾器。

    爐室、BSD室僅有溫度控制要求,設風冷電熱分體柜式空調機(PAL)來保證房間溫度要求,室內機就近放置在車間內,接風管,采用方形散流器頂送風方式;室外機放置在屋面上。新風由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求,風冷電熱分體柜式空調機回風口處設中效過濾器(大氣塵計數效率:≥60%,對于≥1μm粒子)。

     

    磨片檢查室有溫度和濕度控制要求,設風冷電熱分體柜式空調機(PAL)來保證房間溫度要求,室內機就近放置在車間內,接風管,采用方形散流器頂送風方式;室外機放置在屋面上。新風經新風機組(MAU-1、2)處理后,接至送風管上送到室內,相對濕度由新風機組來保證。新風機組是與凈化系統共用的。車間有防塵要求,風冷電熱分體柜式空調機回風口處設中效過濾器(大氣塵計數效率:≥60%,對于≥1μm粒子),新風機組內設粗、中效過濾器。

    2.2 凈化系統

    光伏新能源凈化工程系統用的新風空調機組(MAU)和循環空調機組(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷凍水,加熱采用0.2MPa蒸汽,加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕,潔凈蒸汽由純水經潔凈蒸汽發生器產生。

    1 CP室凈化級別為7級,換氣次數取為30/小時,CP室工藝設備用酸量較多,采用全新風空調機組(MAU-3+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。其氣流流程為:新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-潔凈區。

    2 ML室凈化級別為7級,換氣次數取為30/小時,采用新風機組(MAU+循環機組(AHU+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。新風接自其它系統共用MAU-1、2新風組。

    3 CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為級,換氣次數取為50/小時,采用新風機組(MAU+循環機組(AHU+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。新風接自其它系統共用的MAU-1、2新風組。

    4 7級、級的潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風口送風,房間側下百葉風口回風。其凈化工程氣流流程為:新回風混合!中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效過濾器送風口-潔凈區-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。

    ------分隔線----------------------------
    熱線電話
    0512-63310696

    在線客服

    技術支持
    點擊這里給我發消息
    工程咨詢
    點擊這里給我發消息
    股策略配资充值安全吗